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半导体氢氟酸污染物处理

文字大小:【 发布日期:2022年2月10日

半导体氢氟酸污染物处理。新材料作为高新技术的基础和先导,应用范围极其广泛,它同信息技术,生物技术一起成为二十一世纪最重要和最具发展潜力的领域.同传统材料一样,新材料可以从结构组成,功能和应用领域等多种不同角度对其进行分类,不同的分类之间相互交叉和嵌套。废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物,分离和处理难度比较大。

新材料主要有传统材料革新和新型材料的推出构成,随着高新技术的发展,新材料与传统材料产业结合日益紧密,产业结构呈现出横向扩散的特点。半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。 在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。


 

RTO,是指蓄热式热氧化技术,英文名为“Regenerative Thermal Oxidizer”。RTO蓄热式热氧化回收热量采用一种新的非稳态热传递方式,原理是把有机废气加热到760℃以上使废气中的VOC氧化分解成CO2和H2O。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体,使陶瓷体升温而“蓄热”,此蓄热用于预热后续进入的有机废气,从而节省废气升温的燃料消耗。RTO技术分解效率为95%-99%。

广东粤盛湖远环境科技有限公司是从事工业废气处理一站式解决方案的生产厂家,主要设备包括:催化燃烧设备一体机、活性炭吸附脱附催化燃烧、分子筛沸石吸附转轮催化燃烧、RTO蓄热式氧化炉、旋转式RTO、催化燃烧设备、RCO蓄热式催化燃烧等。设备广泛应用于印刷、化工、制药、涂料油墨、卫浴、风能、光伏、电子、玻璃、汽车配件等行业。粤盛湖远拥有11年工业废气领域服务经验,拥有技术开发、工程设计、设备成套制造和工程实施的综合能力,大中型案例多,可考察。

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